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半導體老化柜（Burn-in Chamber）是用于對半導體器件（如集成電路、芯片、LED等）進行老化測試（Burn-in Test）的專業設備。其核心目的是通過模擬高溫、高電壓、高負載等嚴苛條件，加速潛在缺陷的暴露，篩選出早期失效產品，確保器件的可靠性和穩定性。

主要功能與特點

1. 溫度控制

• 高溫老化：通常溫度范圍在室溫至150℃以上（部分可達200℃），通過恒溫或循環溫度變化加速老化。

• 精準控溫：采用PID算法或更先進的溫控系統，確保溫度均勻性（±1~2℃以內）。

2. 電氣負載

• 提供動態或靜態的電信號（電壓/電流），模擬實際工作狀態。

• 支持多通道并行測試，可同時對大量器件施加不同負載。

3. 環境模擬

• 可選濕度控制（如85%RH）、氣壓調節（用于功率器件老化）。

• 部分設備支持氣體環境控制（如氮氣保護）。

4. 自動化與監控

• 集成數據采集系統（DAQ），實時監測電流、電壓、溫度等參數。

• 軟件自動記錄失效數據，支持統計分析（如Weibull分布）。

5. 安全防護

• 過流/過壓保護、煙霧報警、緊急斷電功能。

• 防靜電設計（ESD Protection）。